نسبت عمق یا ارتفاع یک ساختار به کوچکترین بعد افقی آن ساختار را نسبت ابعادی می‌نامند. به طور کلی می‌تون گفت هر چه عدد نسبت ابعادی بزرگتر و هر چه اندازه کلی ساختار کوچکتر باشد ایجاد آن ساختار مشکل تر است. این نسبت در فناوری میکرو نقش مهمی دارد.

منابعویرایش