سامانه میکرو الکترومکانیکی: تفاوت میان نسخهها
محتوای حذفشده محتوای افزودهشده
جز Wiki1391 صفحهٔ سیستمهای میکرو الکترومکانیکی را به سامانه میکرو الکترومکانیکی منتقل کرد |
بدون خلاصۀ ویرایش |
||
خط ۳:
'''سیستمهای میکرو الکترومکانیکی''' {{به انگلیسی|MEMS:Microelectromechanical systems}} [[فنآوری]] سیستمهای بسیار کوچک در ابعاد میکرومتر است.
در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع (IC) ساخته میشوند (همانند فرآیندهای CMOS، Bipolar و یا BICMOS)، عناصر میکروماشینها از طریق فرآیندهای ماشین کاری میکرونی (Micromachining) تولید میشوند به این ترتیب که بر حسب مورد، قسمتهایی از ویفر (Wafer) برداشتهشده یا لایههای جدیدی به آن اضافه میشود.MEMS با تلفیق میکروالکترونیک سیلیکونی با فناوری ماشین کاری میکرونی، نوید تحول را در تقریباً هرنوع محصولی میدهد تا به این ترتیب به «نظام روی یک تراشه»
MEMS فناوری واقعاً توانایی است که با درک و کنترل قابلیتهای «
مدارهای
فناوری MEMS توانایی کشفیات جدیدی را در علوم و مهندسی دارد، مثل:
|