نانو استنسیل لیتوگرافی: تفاوت میان نسخه‌ها
محتوای حذف‌شده محتوای افزوده‌شده
جزبدون خلاصۀ ویرایش |
|||
خط ۳:
امروزه مواد مختلفی از جمله فلزات، سیلیسیم، سیلیسیم نیتراید و پلیمرها می‌توانند به عنوان پوسته (Membrane) بکار روند.
سوراخ‌های شابلون (Stencil) به روش‌های مختلفی روی پوسته ایجاد می‌شوند، این روش‌ها عبارتند از؛ لیتوگرافی لیزرهای تداخلی (LIL)، باریکه الکترونی، تمرکز باریکه یونی و ... .<ref name="nanostencil">[Nanostencil Lithography -Quick & Clean;Juergen Brugger and team بررسی
سوراخ‌های شابلون دریک ویفر 4 اینچی می‌توانند تا مقیاس میکرومتر کوچک شوند.
| |||