{{بدون منبع|تاریخ=اوت ۲۰۰۹}}'''آب فوق خالص''' {{انگلیسی|Ultrapure Water}} به آب‌هایی گفته می شود که تا محدوده های غیرمتداولی مطابق Specهای خاصی خالص گردیده است.<ref>{{Cite journal|date=2019-01-13|title=Ultrapure water|url=https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Ultrapure_water&oldid=878239945|journal=Wikipedia|language=en}}</ref> از این آب ها معمولا در صنایع ساخت نیمه رساناها استفاده می شود. حداکثر خلوص آب ازنظر هدایت الکتریکی تا ۰٫۰۵۶ [[میکرو]] [[زیمنس]] می‌تواند برسد. غالباً در زمان کنترل آب خالص بجای محاسبه هدایت الکتریکی از واحد [[مقاومت و رسانایی الکتریکی|مقاومت الکتریکی]] که بر حسب [[مگا]][[اهم]] و معکوس میکرو زیمنس است استفاده می‌شود. به این ترتیب مقاومت الکتریکی آب فوق خالص با هدایت الکتریکی ۰٫۰۵۶ میکروزیمنس ۱۸ مگا اهم است.
آب فوق خالص با [[آب دیونیزه]] شده که واژه متدوالی است تفاوت دارد. علاوه بر اینکه آب فوق خالص فاقد ذرات ارگانیک و گازهای حلال است، یک سیستم ساخت آب فوق خالص سه مرحله دارد که شامل، مرحله پیش تصفیه که ساخت آب خالص است، یک مرحله اولیه برای خالص سازی بیشتر آب و مرحله نهایی و گران قیمت ترین قسمت که تمیزکاری نهایی یا پولیش کاری آب می باشد.<ref>{{Cite journal|date=2019-01-13|title=Ultrapure water|url=https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Ultrapure_water&oldid=878239945|journal=Wikipedia|language=en}}</ref>
