[[پرونده:A UPW Installation using PVDF Piping.png|بندانگشتی|تاسیسات ساختتهیهٔ آب فوق خالص با استفاده از لوله هایلوله‌های PVDF]]
'''آب فوق خالص''' {{انگلیسی|Ultrapure Water}} به آب‌هایی گفته می شودمی‌شود که تا محدوده هایمحدوده‌های غیرمتداولی مطابق Specهای خاصی خالص گردیده استگردیده‌است.<ref>{{Cite journal|date=2019-01-13|title=Ultrapure water|url=https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Ultrapure_water&oldid=878239945|journal=Wikipedia|language=en}}</ref> از این آبآب‌ها ها معمولامعمولاً در صنایع ساخت نیمه هادی هاهادی‌ها استفاده می شودمی‌شود. در این آب هاآب‌ها هدایت الکتریکی می‌تواند به کوچکی ۰٫۰۵۶ [[میکرو]] [[زیمنس]] برسد. غالباً در زمان بررسی آب فوق خالص به جای سنجش [[رسانش الکتریکی]] از [[مقاومت و رسانایی الکتریکی|مقاومت الکتریکی]] با واحد [[مگا]][[اهم]] (که معکوس میکرو زیمنس است) استفاده می‌شود. به این ترتیب مقاومت الکتریکی آب فوق خالص با هدایت الکتریکی ۰٫۰۵۶ میکروزیمنس برابر ۱۸ مگا اهم است.
آب فوق خالص با [[آب دیونیزه]] شده که واژه متدوالیمتداولی است تفاوت دارد. علاوه بر اینکهاین‌که ''آب فوق خالص'' فاقد ذرات ارگانیک و گازهای حلال است، یک سیستم ساختتهیه ''آب فوق خالص'' شامل سه مرحله است، مرحله پیش تصفیه که ساختتهیهٔ [[آب خالص]] است، یک مرحلهمرحلهٔ اولیه برای خالص سازی بیشتر آب و مرحلهمرحلهٔ نهایی و گران قیمت ترینپرهزینه‌ترین قسمت که تمیزکاری نهایی یا پولیش کاری آب می باشدمی‌باشد.<ref>{{Cite journal|date=2019-01-13|title=Ultrapure water|url=https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Ultrapure_water&oldid=878239945|journal=Wikipedia|language=en}}</ref>
جامع ترینجامع‌ترین استانداردهایی که الزامات ساخت ''آب فوق خالص'' را تعیین می کنندمی‌کنند استاندارد ASTM D5127<ref>{{یادکرد وب|عنوان=ASTM D5127 - 13(2018) Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries|نشانی=http://www.astm.org/Standards/D5127.htm|وب‌گاهوبگاه=www.astm.org|بازبینی=2019-02-04}}</ref> و SEMI F63<ref>{{یادکرد وب|عنوان=SEMI F63-0213 - Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing|نشانی=http://ams.semi.org/ebusiness/standards/SEMIStandardDetail.aspx?ProductID=211&DownloadID=2950|وب‌گاهوبگاه=ams.semi.org|بازبینی=2019-02-04}}</ref> می باشندمی‌باشند.
از آب فوق خالص به عنوان آب خوراک دیگ بخار در ناوگان UK [[:en:Advanced_Gas-cooled_Reactor|AGR]] نیز استفاده می شودمی‌شود.
