سامانه میکرو الکترومکانیکی: تفاوت میان نسخهها
محتوای حذفشده محتوای افزودهشده
FreshmanBot (بحث | مشارکتها) جز اصلاح فاصله مجازی + اصلاح نویسه با استفاده از AWB |
بدون خلاصۀ ویرایش |
||
خط ۴:
در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع (IC) ساخته میشوند (همانند فرایندهای CMOS، Bipolar یا BICMOS)، عناصر میکروماشینها از طریق فرایندهای [[ماشین کاری]] میکرونی (Micromachining) تولید میشوند به این ترتیب که بر حسب مورد، قسمتهایی از ویفر (Wafer) برداشتهشده یا لایههای جدیدی به آن اضافه میشود.MEMS با تلفیق میکروالکترونیک سیلیکونی با فناوری ماشین کاری میکرونی، نوید تحول را در تقریباً هرنوع محصولی میدهد تا به این ترتیب به «نظام روی یک تراشه» جامه عمل بپوشاند.
MEMS فناوری واقعاً توانایی است که با درک و کنترل قابلیتهای «میکروسنسورها» و
مدارهای پیوسته میکروالکترونیکی (IC) میتوانند به عنوان مغز متفکر سیستمها باشند و MEMS با اضافهکردن «چشم» و «بازو»، این قدرت تفکر را توسعه میدهد تا این میکروسیستمها بتوانند محیط اطرافشان را حس کرده و کنترل نمایند. این [[حسگر]]ها در سادهترین حالت خود با کمک [[اندازهگیری]] [[پدیده]]های مکانیکی، گرمایی، زیستی، شیمیایی، نوری و مغناطیسی، اطلاعات را از محیط جمعآوری میکنند. پس از اخذ اطلاعات از حسکنندهها، دستگاههای الکترومکانیکی به کمک قدرت تصمیمگیری خود، محرکها را به پاسخهایی چون: حرکت، جابجایی، تنظیمکردن، پمپکردن و فیلترکردن وادار کرده، محیط را به سمت نتایج موردنظر هدایت میکنند. از آنجا که دستگاههای MEMS همانند ICها با تکنیکهای ساخت ناپیوسته ساخته میشوند، میتوان سطح بسیار بالایی از کارکرد، اطمینان و پیچیدگی را با هزینه اندک بر روی تراشه کوچک سیلیکونی شکل داد.
خط ۱۸:
۴. فناوری جهشی میکروسیستمها جهت غربال و انتخاب سریع دارو
ابزارهای MEMS در بازارهای مختلف صنعتی،
اگرچه وسایل MEMS خیلی کوچک اند (مثلاً MEMS دارای [[موتورهای الکتریکی]] کوچکتر از قطر [[مو]]ی انسان است) ولی اهمیت فناوری MEMS فقط به اندازة آنها مربوط نمیشود. علاوه بر این، MEMS فقط به پایه سیلیکونی محدود نمیشود، هرچند [[سیلیکون]] به دلیل داشتن خواص عالی به یک انتخاب جالب توجه برای مصارف مکانیکی با کیفیت بالا تبدیل شدهاست. (مثلاً نسبت استحکام به وزن برای سیلیکون از خیلی از مواد مهندسی دیگر بالاتر است، که ساخت وسایل مکانیکی با [[پهنای باند]] وسیع (band width) را ممکن میسازد). در عوض، MEMS فناوری تولیدی است که راه جدیدی برای ایجاد سیستمهای الکترومکانیکی ارائه میدهد با تکنیکهای تولید ناپیوسته ارائه میدهد، مانند روش تولید مدارهای مجتمع که باعث تولید عناصر الکترومکانیکی در کنار قطعات الکترونیکی میشود.
خط ۲۴:
این فناوری تولید جدید، مزایای متعددی دارد: اول اینکه MEMS فناوری گستردهای است که بالفعل میتواند تأثیر مهمی بر انواع تولیدات تجاری و نظامی بگذارد. هماکنون MEMS در هر چیزی، از نمایش [[فشار خون]] گرفته تا سیستمهای تعلیق فعال خودروها active suspension) systems) مورد استفاده قرار میگیرد. لذا ماهیت فناوری MEMS و کاربردهای متعددش، آن را از فناوریهای مرسوم حتی مدارهای مجتمع و [[ریزتراشه]]ها فراگیر تر نمودهاست.
دوم اینکه MEMS
به عنوان یک نمونة جدید از فواید فناوری MEMS میتوان به [[شتابسنج]]های MEMS اشاره کرد، که به سرعت جایگزین [[سرعتسنج]]های مربوط به سیستمهای [[کیسة هوا]] در اتومبیل میشود. در روش مرسوم از چندین شتابسنج حجیم شامل اجزای مختلف در جلوی خودرو استفاده میشود که قطعات الکترونیکی سیستم در نزدیکی کیسة هوا قرار دارند و قیمت مجموعه بالغ بر ۵۰ دلار است.
MEMS این امکان را فراهم کرده تا شتابسنج و وسایل الکترونیکی با هزینهای کمتر از ۵ تا ۱۰ دلار در یک ریزتراشة سیلیکونی تلفیق شوند. شتابسنج MEMS خیلی کوچکتر، کارآمدتر، سبکتر و قابل اعتمادتر بوده و قیمتی بسیار کمتر از شتابسنجهای مرسوم دارد. لذا انتظار میرود ظرف چند سال آینده این شتابسنجها جایگزین دستگاههای مشابه در کلیه خودروهای خارجی و داخلی گردند. بهای اندک عناصر شتابسنج MEMS،
== مواد برای ساخت ==
[[سیلیسیم]] پرکاربردترین ماده در ساخت [[تراشه]] است. این ماده هم از نظر اقتصادی به
مواد دیگری مانند [[پلیمر|پلیمرها]] و [[فلز|فلزها]] نیز کاربرد گستردهای برای ساخت سیستمهای میکرو الکترومکانیکی دارند.
|