میکروسکوپ الکترونی روبشی: تفاوت میان نسخهها
محتوای حذفشده محتوای افزودهشده
Hosseiniran (بحث | مشارکتها) ویرایش بهوسیلهٔ ابرابزار: |
Hosseiniran (بحث | مشارکتها) جز جایگزینی با اشتباهیاب: حسکر⟸حسگر، وکاربردهای⟸و کاربردهای، سیتمهای⟸سیستمهای، دمارا⟸دما را، فراونی⟸فراوانی، مطوب⟸مطلوب، وعمر⟸و عمر، سانتمتر⟸سانتیمتر |
||
خط ۳:
'''میکروسکوپ الکترونی روبشی''' یا SEM نوعی [[میکروسکوپ الکترونی]] است که قابلیت عکسبرداری از سطوح با [[بزرگنمایی]] ۱۰ تا ۵۰۰۰۰۰ برابر با [[قدرت تفکیک]]ی کمتر از ۱ تا ۲۰ [[نانومتر]] (بسته به نوع نمونه) را دارد.
میکروسکوپ الکترونی روبشی، از مناسبترین وسایل در دسترس برای آزمایش و آنالیز مورفولوژی نانو ساختارها و شناسایی ترکیبات شیمیائی است. توانائی SEM برای بررسی سطح مواد بی نظیر بوده و حائز برتریهای
== تاریخچه ==
خط ۱۲:
== عملکرد کلی و تواناییها ==
سیگنالهای مورد استفاده توسط SEM برای تولید تصویر نتیجهٔ برهم کنش پرتو الکترون با اتمهای نمونهٔ مورد آزمون در عمقهای متفاوت میباشد. در این [[میکروسکوپ]] ابتدا باید یک ستون الکترون ایجاد شود که برای این کار از تفنگهای الکترونی استفاده میشود. هرچه تعداد این الکترونها بیشتر و در عین حال قطر این ستون کمتر باشد، مطلوبتر خواهد بود ضمن اینکه هم سرعت بودن این الکترونها نیز از دیگر خصوصیات مثبت آنها تلقی میشود. پس از تولید این ستون از الکترونها، بر حسب شرایط مورد نظر کاربر با ایجاد یک [[میدان الکتریکی]] به آنها [[شتاب]] داده میشود و به کمک چندین لنز الکترومغناطیسی شعاع آن را تا حد
== اجزا ==
خط ۳۶:
هر چند این تفنگها نیز خود انواع مختلفی دارند لیکن اصول کلی کار آنها یکی است، لذا در اینجا به بررسی تفنگها رشته تنگستنی میپردازیم که عملاً سادهتر هستند.
در این تفنگها، کاتد تولیدکننده الکترون، یک سیم تنگستنی است که وسط آن به صورت V شکل خم شده و شعاع سر آن حدود ۱۰۰ میکرومتر است. در این تفنگها سر فیلمان تنگستن بر اثر عبور جریا تا ۲۷۰۰ درجه کلوین گرم شده و طبق قانون ریچاردسون-داچمن جریانی تا 1.75 A/cm2 منتشر میکند. علت استفاده از تنگستن در این تفنگها، تابع کار پایین و مقاومت بالای آن در برابر حرارت و جریان الکتریسیته است. میزان دمای فیلمان تأثیر مستقیمی بر روی میزان الکترونهای خارج شده از یک سو
الکترونهای تولید شده در فیلمان (کاتد) با استفاده از اختلاف پتانسیلی معادل ۱۰۰۰ تا ۵۰۰۰۰ ولت به سمت آند شتاب گرفته و با سرعت به سمت آن میروند و بخشی از آنها از سوراخ میانی آند عبور کرده با سرعت به سمت ستون اپتیکی میکروسکوپ و در نهایت نمونه فرستاده میشوند. لازم است ذکر شود که در این تفنگها علاوه بر کاتد و آند، یک درپوش نیز قرار دارد که دارای سوراخ بوده و نسبت به کاتد در بایاس منفی قرار دارد تا با یک میدان الکترو استاتیک به متمرکز شدن الکترونها کمک کند.
آنچه در مورد تفنگهای الکترونی اهمیت دارد، تأثیر جریان فیلمان بر روشنایی تصویر است، بهطور نمونه با افزایش دمای فیلمان از ۲۷۰۰ به ۳۰۰۰ درجه روشنایی حدود ۵ برابر افزایش مییابد اما عمر آن بین ۳۰ تا ۶۰ برابر کاهش مییابد که این لزوم تنظیم
'''تفنگهای انتشار میدانی'''
خط ۶۳:
== سیستم خلأ ==
میکروسکوپهای الکترونی تحت خلأ کار میکنند که دلایل زیادی برای آن وجود دارد. مهمترین این دلایل را میتوان دست یافتن به پرتو متمرکزتر و عمر بیشتر دستگاه دانست. مسافت طی شده بدون برخورد توسط الکترون در فشار یک اتمسفر ۱
برای ایجاد خلأ در این دستگاه روشهای متنوعی وجود دارد که به صورت تکی یا ترکیبی بنا به مدل دستگاه استفاده میشوند.<ref>http://emu.uct.ac.za/training/sem-school/the-sem-vacuum-system/</ref>
|