واژهٔ '''''خوداخدا''''' یا ''خودایخدای'' از [[فارسی میانه|فارسی میانهٔ]] xwadāy به‌معنی «ارباب» و «پروردگار» و آن نیز مرتبط با واژهٔ [[اوستایی]] xᵛaδāta- {{رچ}}({{lang|ae|𐬓𐬀𐬜𐬁𐬙𐬀}}) به‌معنی «قائم‌به‌خود» یا «آفریدهٔ خود» است.<ref>[[ابراهیم پورداوود|Ebrahim Pourdavoud]]، [[آناهیتا|Anahita]]</ref>
واژهٔ خوداخدا را در گذشتهٔ [[ادبیات]] به‌صورت ''خوداوندخداوند'' نیز نوشته‌اند و به‌معنی مالک و صاحب و دارنده نیز به‌کار برده‌اند. اگر خوداوندخداوند به‌صورت [[ترکیب لغوی]] به‌کار برده شود ([[ترکیب وصفی]] یا [[ترکیب اضافی]] یا غیره) به‌معنای مالک و صاحب و دارنده است؛ چنان‌که [[سعدی]] می‌گوید: «وگرچه به مکنت قوی‌حال بود / '''خوداوندِخداوندِ''' جاه و زر و مال بود»
«خوداوندخداوند» و «خوداوندگارخداوندگار» از القاب پادشاهان و حاکمان نیز بوده‌است. (خوداوندگارخداوندگار عالم، خوداوندخداوند عالم، خوداوندگارخداوندگار ما، و غیره)<ref>[[تاریخ بیهقی|Tarikh-i Bayhaqi]]، [[ابوالفضل بیهقی|Abu'l-Fadl Bayhaqi]]</ref>
واژهٔ مرتبط [[فارسی|فارسیِ]] ''خدیو''، که هم‌معنی «خوداخدا» ست، برگرفته از واژهٔ [[زبان بلخی|بلخیِ]] xoadēo {{رچ}}({{lang|xbc|χοαδηο}}، به‌معنی «ارباب») است. این واژهٔ بلخی معادل [[فارسی میانه|فارسی میانهٔ]] xwadāy و xwadāwan و [[زبان سغدی|سغدیِ]] xwtʾw است که همگی این واژه‌ها ترکیبی از دو [[بن (دستور زبان)|بنِ]] *xwa- (به‌معنی «خود») و یکی از حالت‌های بنِ *taw- (به‌معنی «توانا بودن») هستند. [[نیکلاس سیمز ویلیامز|سیمز ویلیامز]] واژهٔ بلخی را ترجمهٔ (calque) واژهٔ [[زبان یونانی باستان|یونانیِ]] auto-kratōr {{رچ}}({{lang|grc|αὐτοκράτωρ}}، به‌معنی «امپراتور») دانسته‌است که ترکیبی است از autos (به‌معنی «خود») و kratos (به‌معنی «توانایی»).<ref>محمود جعفری دهقی، امیر عمادالدین صدری (پاییز و زمستان ۱۳۹۰)، [http://languagestudy.ihcs.ac.ir/?_action=showPDF&article=451&_ob=c118f64634357f5c5e7920b1f51ed934&fileName=full_text.pdf «وام‌واژه‌های بلخی در پارسی نو»]، ''زبان‌شناخت''، پژوهشگاه علوم انسانی و مطالعات فرهنگی، سال دوم، شمارهٔ دوم، ص۳.</ref><ref>[[نیکلاس سیمز ویلیامز|Nicholas Sims-Williams]], [http://www.iranicaonline.org/articles/bactrian-language "Bactrian language"], ''[[دانشنامه ایرانیکا|Encyclopædia Iranica]]'', December 15, 1988.</ref>
