مدارهاي پيوستة ميكروالكترونيكي (IC) مي‌توانند بعنوان مغز متفكر سيستمها باشند و MEMS با اضافه‌كردن "چشم" و "بازو"، اين قدرت تفكر را توسعه ميدهد تا اين ميكروسيستمها بتوانند محيط اطرافشان را حس كرده و كنترل نمايند. اين حسگرها در ساده‌ترين حالت خود با كمك اندازه‌گيري پديده‌هاي مكانيكي، گرمايي، زيستي، شيميايي، نوري و مغناطيسي، اطلاعات را از محيط جمع‌آوري مي‌كنند. پس از اخذ اطلاعات از حس‌كننده‌ها, دستگاههاي الكترومكانيكي به كمك قدرت تصميم‌گيري خود، محركها را به پاسخ‌‌هايي چون : حركت، جابجايي، تنظيم‌كردن، پمپ‌كردن و فيلتركردن وادار كرده, محيط را به سمت نتايج موردنظر هدايت مي‌كنند. از آنجا كه دستگاههاي MEMS همانند ICها با تكنيكهاي ساخت ناپيوسته ساخته مي‌شوند، مي‌توان سطح بسيار بالايي از كاركرد، اطمينان و پيچيدگي را با هزينه اندك بر روي تراشة كوچك سيليكوني شكل داد.
فناوري MEMS توانايي كشفيات جديدي را در علوم و مهندسي دارد، مثل:
خط ۳۱:
MEMS اين امكان را فراهم كرده تا شتاب‌سنج و وسايل الكترونيكي با هزينه‌اي كمتر از 5 تا 10 دلار در يك ريزتراشة سيليكوني تلفيق شوند. شتاب‌سنج MEMS خيلي كوچكتر، كارآمدتر، سبكتر و قابل اعتمادتر بوده و قيمتي بسيار كمتر از شتاب‌سنجهاي مرسوم دارد. لذا انتظار مي‌رود ظرف چند سال آينده اين شتاب‌سنجها جايگزين دستگاههاي مشابه در كليه خودروهاي خارجي و داخلي گردند. بهاي اندك عناصر شتاب‌سنج MEMS ،MEMS، اجازة ساخت كيسة هوا براي حفاظت مسافرين در مقابل ضربات كناري را ميدهد. ادامة پيشرفت در فناوري شتاب‌سنج MEMS در 5 سال آينده، امكان ميدهد تا حس‌كننده‌ها, اندازه و وزن يك مسافر را تعيين كرده پاسخ بهينه را محاسبه كنند تا صدمات احتمالي ناشي از كيسه هوا كاهش يابد.
