تفاوت میان نسخه‌های «طرح‌نگار الکترونی»

بدون خلاصه ویرایش
(صفحه‌ای جدید حاوی « در سال 1985 تام نیومن جایزه ای را که فاینمن در سخنرانی معروف خود " فضای زیادی در...» ایجاد کرد)
برچسب: منبع‌دهی نادرست (AF)
 
لیتوگرافی پرتو الکترونی همانطور که طور که متوجه شدید روشی بسیار دقیق و با وضوح بالا است. این روش ‏روشی مستقیم برای شکل دهی الگوها روی لایه ای از مواد است. لیتوگرافی مستقیم خود را با این توانایی که ‏اجازه می دهد که الگو از روی یک فایل داده ایجاد شود متمایز می گرداند. بنابراین این روش یک روش برای ‏الگوسازی است و برای تکرار مناسب نیست. لیتوگرافی پرتو الکترونی در معمول ترین شکل خود از سخت ‏افزارهایی استفاده می کند که زیاد متفاوت از میکروسکوب روبشی الکترونی (‏SEM‏) نیستند و به وسیله آن ‏یک پرتو کوچک متمرکز شده از الکترون ها را برای ایجاد یک تصویر روی لایه ای نازک از پلیمر به نام رزیست ‏استفاده می شود. نتیجه این تابش این است که آن مکان هایی که در معرض قرار گرفته وقتی در محلول ‏خوردنده قرار می گیرد بیشتر حل می شود (به این نوع رزیست ها مثبت گفته می شود) و یا کمتر حل می ‏شود (رزیست منفی). سپس الگوی حاصل به وسیله ی اچ کردن یا نشاندن دیگر مواد به وجود می آید. با تکرار ‏مراحلی شبیه به این، ساختارهای پیچیده با مقیاس بسیار کوچک را می توان ساخت.‏
ابزارهای پرتو الکترونی ‏
 
2- ابزارهای پرتو الکترونی
 
‏2-1- المان های یک سیستم لیتوگرافی پرتو الکترونی ‏
۱۴

ویرایش