برآرایی بخار هیدرید

(تغییرمسیر از برآرايي بخار هيدريد)

اپیتکسی فاز بخار هیدرید (به انگلیسی: Hydride vapour phase epitaxy) گونه‌ای اپیتکسی است که در ساخت گونه‌هایی از نیمه‌رساناها مانند GaN، GaAs، InP کاربرد دارد. گازهای بکار رفته معمولاً شامل آمونیاک، هیدروژن، کلرید هستند.

جستارهای وابسته ویرایش

منابع ویرایش

ویکی‌پدیای انگلیسی