زیرین‌بری (زدایش)
عارضه‌ای ناخواسته که باعث زودایش نیم‌رسانا در زیر پایه افزاره می‌شود
زیرین‌بُری (به انگلیسی: Undercut) یا زیربُری ناشی از زُدایش (ریزساخت) عموماً یک عارضه‌جانبی ناخواسته است.[نیازمند منبع] اما گاهی به عنوان یک ویژگی مانند فنّ نیمایر-دولان استفاده می‌شود.[۱] زیرین‌بری ناشی از زُدایش می‌تواند به دو دلیل رایج ایجاد شود. اولی فرازُدایش (به انگلیسی: over etching) است، به این معنی که زُداینده بیش از حد طولانی اعمال شده است. مورد دوم به دلیل یک زُداینده همسانگرد است، به این معنی که زُداینده در همه جهات به‌طور یکسان می‌زُداید. برای غلبه بر این مشکل از یک زُداینده ناهمسانگرد استفاده می‌شود.[۲]
- یک زُداینده همسانگرد که یک زیرین‌بُری ایجاد می‌کند
- یک زُداینده ناهمسانگرد هیچ زیرین‌بُری برجای نمی‌گذارد
منابع
ویرایش- ↑ Henning, Torsten (1999-01-27). "Charging effects in niobium nanostructures". pp. 56, 60. arXiv:cond-mat/9901308.
- ↑ (Degarmo، Black و Kohser 2003).
کتابشناسی - فهرست کتب
ویرایش- Degarmo, E. Paul; Black, J T.; Kohser, Ronald A. (2003), Materials and Processes in Manufacturing (9th ed.), Wiley, ISBN 0-471-65653-4.