نانو استنسیل لیتوگرافی: تفاوت میان نسخهها
محتوای حذفشده محتوای افزودهشده
خط ۴۶:
این دقیقاً مثل بسته شدن فضای بین خانهها در اثر بارش زیاد برف است:
=== گپ (blurring) ===
دقت ساختار منتقل شده از شابلون به زیرلایه به عوامل مختلفی بستگی دارد که پخش شدگی ماده کاری روی زیرلایه (که خود تابعی است از دما، نوع مادهکاری و درجه تبخیر) و ساختار هندسی از فاکتورهای اصلی آن هستند، که هردو به تشکیل طرح بزرگتر منجر میشوند.<ref name="membrane">[http://spie.org/x45083.xml ساختار شابلونها و زیرلایهها]</ref>
|