'''نانو استنسیل''' (حکاکی با استفاده از نانوشابلون)، یک روش نوین برای تولید [[نانوساختار]]هاستها است. در این روش از شابلونهایی با سوراخهای نانومتری برای انتقال مواد به زیرلایه استفاده میشود. این یک روش سادهسادهٔ بینیاز بهاز لایهٔ مقاوم (Resistresist) است.{{سرخط}}
با تکنیک نانواستنسیل ماده تحت یک وکیوم قوی (UHV) بخار میشود و بهوسیلهبهوسیلهٔ یک ماسک مستقیماً روی نمونه قرار میگیرد.
امروزه مواد مختلفی از جملهازجمله فلزات، سیلیسیم، سیلیسیم نیتراید و پلیمرها میتوانند به عنوانبهعنوان پوسته (Membranemembrane) بکاربهکار روند.
سوراخهای شابلون (Stencilstencil) به روشهای مختلفی روی پوسته ایجاد میشوند،میشوند. این روشها عبارتند از؛از: لیتوگرافی لیزرهای تداخلی (LIL)، باریکهباریکهٔ الکترونی، تمرکز باریکهباریکهٔ یونییونی، و ….<ref name="nanostencil">[Nanostencil Lithography -Quick & Clean;Juergen Brugger and team بررسی نانواستنسیل لیتوگرافی و نانو ساختارها؛نانوساختارها؛ جوردن برگر و تیم همراه.]</ref>
سوراخهای شابلون دریک ویفر ۴ اینچی میتوانند تا مقیاس میکرومتر کوچک شوند.
از طلا به عنوانبهعنوان کاتالیزور و شابلونی با اندازهاندازهٔ سوراخهای گوناگون استفاده شده که به ما امکان کنترل تعداد نانو تیوبهاینانوتیوبهای تولیدی را میدهد.