طرح‌نگار الکترونی: تفاوت میان نسخه‌ها
محتوای حذف‌شده محتوای افزوده‌شده
بدون خلاصۀ ویرایش |
نجات مقاله از حذف |
||
خط ۱:
لیتوگرافی پرتو الکترونی یک روش نسبتا جدید لیتوگرافی است. بر خلاف لیتوگرافی نوری این روش از پرتوهای پر قدرت الکترون برای ایجاد اشکال مختلف بر طبق ماسک استفاد می‌کند.
== جستارهای وابسته ==
* [[لیتوگرافی نوری]]
== منبع ==
* [http://edu.nano.ir/index.php/articles/show/106 در سایت نانو]
[[en:Electron beam lithography]]
| |||