هدف اصلی فن آوری خلأ کاهش چگالی ذرات خارجی، شامل اتمها یا مولکولها، یا ذرات دیگر در یک حجم مشخص است. این ذرات خارجی
عبارتند از:
-۱ بخار حاصل از چشمه مواد
-۲ گازهای موجود در هوای داخل محفظه که عمدتاً شامل نیتروژن و اکسیژن، بخار آب (که از راه هوا جذب میشود)، هیدروژن، مونوکسیدکربن و دی اکسید کربن میباشند.
-۳ گازهایی که بواسطه عدم درزبندی درست و در اثر نشتی حاصل از آن از طریق دیوارهها وارد سیستم میشوند.
-۴ گاز حاصل از فشار بخار مواد
-۵ گازهای جذب شده در داخل مثلاً بدنه استیل که بعد از پولیش کردن بدنه و یا پخت محفظه خارج میشوند.
لازم به ذکر است که دفع گاز با دمای داخل محفظه خلأ متناسب است و با بالا بردن دمای محفظه، دفع گاز با سرعت بیشتری انجام شده و پس از گذشت زمان مشخص به یک مقدار ماکزیمم رسیده و در ادامه به آهستگی کاهش مییابد.