طرحنگار الکترونی: تفاوت میان نسخهها
محتوای حذفشده محتوای افزودهشده
جز ربات: حذف میانویکی موجود در ویکیداده: ۱۲ میانویکی |
بدون خلاصۀ ویرایش |
||
خط ۱:
'''طرح نگار الکترونی'''
لیتوگرافی یا طرح نگاری الکترونی در اوایل دهه ۱۹۶۰ میلادی تقریبا هم همان زمان با طرح نگاری نوری ابداع شد. طرح نگار الکترونی از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) منشعب شده و بسیار شبیه آن است. این روش تنها با کشف پلیمر حساس به الکترون معروف به [[
بر خلاف طرح نگار نوری، در این روش از ماسک استفاده نمیشود به همین دلیل سرعت بسیار پایین تری نسبت به طرح نگار نوری دارد.
|