|
[[مترولوژی]] سطح، روش [[اندازهگیری]] ویژگی‌ها در مقیاس کوچک بر روی سطوح است و شاخه‌ای از علم اندازهگیری (مترولوژی) است. فرم اولیه سطح ،سطح، [[بعد فراکتالی|شکست پذیری]] سطح و [[زبری سطح]] پارامترهایی هستند که معمولاً با این زمینه مرتبط هستند. این زمینه علمی برای بسیاری از رشته‌ها حائز اهمیت است و بیشتر به دلیل ماشینکاری قطعات و مجموعه‌های دقیق که حاوی سطوح جفت شونده هستند یا باید با فشارهای داخلی بالا کار کنند، شناخته شده استشده‌است.
پرداخت سطوح ممکن است به دو روش اندازهگیریاندازهگیری شود: روشهایروشهای تماسی و روشهایروشهای غیر تماسی. روش‌های تماس شامل کشیدن یک [[استایلوس|قلم]] اندازهگیری بر روی سطح است. این ابزارها [[پروفایلومتر|پروفیلومتر]] نامیده می شوندمیشوند. روش‌های غیر تماسی شامل: [[تداخل‌سنجی|تداخل سنجی]] ، [[میکروسکوپ هولوگرافی دیجیتال|هولوگرافی دیجیتال]] ، [[میکروسکوپ هم-کانونی|ریزبینی کانونی]] ، تغییر فوکوس ،فوکوس، نور ساختار یافته ،یافته، [[ظرفیت خازنی|ظرفیت الکتریکی]] ، [[میکروسکوپ الکترونی]] ، [[تصویرسنجی|فتوگرامتری]] و پروفیلومترهای غیر تماسی می باشندمی‌باشند.
== بررسی اجمالی''' ==
متداول ترینمتداول‌ترین روش برای مترولوژی سطوح، استفاده از پروفیلومتر قلم [[الماس]] است. قلم بطوربه‌طور عمود بر روی سطح قرار می‌گیرد.<ref name=":0">Degarmo, E. Paul; Black, J T. ; Kohser, Ronald A. (2003). ''Materials and Processes in Manufacturing'' (9th ed.). Wiley. pp. 223–224. [[شماره استاندارد بین‌المللی کتاب|ISBN]] <bdi>[[:en:Special:BookSources/0-471-65653-4|0-471-65653-4]]</bdi>.</ref> پویشگر (نوک قلم) معمولاً در امتداد یک خط مستقیم بر روی یک سطح صاف یا به صورت قوس مدور در اطراف یک سطح استوانه‌ای ردیابی می‌شود. به طول مسیری که پویشگر ردیابی می‌کند طول سنجش گفته می‌شود. طول موج کمترین فرکانسی که برای تجزیه و تحلیل داده هادادهها استفاده می‌شود ،می‌شود، معمولاً به عنوان طول نمونه‌برداری تعریف می‌شود. اکثر استانداردها توصیه می‌کنند که طول سنجش باید حداقل هفت برابر بیشتر از طول نمونهبردارینمونهبرداری باشد و طبق [[قضیه نمونه‌برداری نایکوئیست-شنون|قضیه نمونه برداری نایکوئیست-شنون]] ، طول سنجش باید حداقل دو برابر طول موج ویژگیهایویژگیهای جالب توجه باشد. طول ارزیابی (assessment length or evaluation length)، طول داده‌ای است که برای تجزیه و تحلیل استفاده خواهد شد. معمولاً از هر انتهای طول سنجش، یک طول نمونه دور ریخته می‌شود. اندازه‌گیری‌های سه بعدی را می توانمی‌توان توسط پروفیلومتر با اسکن یک ناحیه 2۲ بعدی روی سطح انجام داد.
عیب پروفیلومتر این است که وقتی اندازه ویژگی خاصی از سطح به اندازه قلم نزدیک می شودمی‌شود دقیق نیست. یکی دیگر از معایب این است که پروفیلومترها در تشخیص عیب هاییعیب‌هایی با اندازه کلی مشابه زبری سطح ناتوانند.<ref name=":0"/> ابزارهای غیر تماسی نیز محدودیت هاییمحدودیت‌هایی دارند؛ به عنوان مثال، ابزارهایی که بر اساس تداخل نوری کار میکنندمیکنند نمی‌توانند ویژگیهاییویژگیهایی را اندازهایاندازهای کمتر از کسری از طول موج عملیاتی دارند را اندازهگیریاندازهگیری کنند. این محدودیت می تواندمیتواند اندازهگیری دقیق زبری حتی روی اجسام مشترک را دشوار کند، زیرا ممکن است اندازه ویژگی‌های دلخواه آن بسیار کمتر از طول موج نور باشد. بعنوان مثال، طول موج نور قرمز حدود 650۶۵۰ نانومتر است،<ref>"[https://web.archive.org/web/20110720105431/http://science-edu.larc.nasa.gov/EDDOCS/Wavelengths_for_Colors.html What Wavelength Goes With a Color?]". Archived from the original on 2011-07-20. Retrieved 2008-05-14.</ref> در حالی که زبری متوسط(R<sub>a</sub>) یک شافت زمینی ممکن است 200۲۰۰ نانومتر باشد.
اولین مرحله تجزیه و تحلیل، فیلتر کردن داده‌های خام برای از بین بردن داده‌های فرکانس بسیار بالا است (که به آن "«میکرو زبری"» می‌گویند) زیرا این داده‌ها اغلب می‌توانند به ارتعاشات یا بقایای سطح نسبت داده شوند. فیلتر کردن میکرو زبری در یک آستانه مشخص همچنین اجازه می‌دهد تا ارزیابی زبری ساخته شده با استفاده از پروفیلومترهای دارای شعاع توپ قلم مختلف (مثلاً 2۲ و 5۵ میکرومتر) را به هم نزدیک کنیم. در مرحله بعد ،بعد، داده‌ها به زبری، موج دار بودن و فرم تقسیم می‌شوند. این کار را می‌توان با استفاده از خطوط مرجع، روش‌های پوششی، فیلترهای دیجیتال، فراکتال یا سایر تکنیک‌ها انجام داد. در آخر، داده‌ها با استفاده از یک یا چند پارامتر زبری و یا با نمودار خلاصه می‌شوند. در گذشته، پرداخت سطح معمولاً با دست تحلیل می‌شد. بدین صورت که ردهای زبری بر روی کاغذ نمودار رسم می‌شد و یک ماشین سازماشین‌ساز باتجربه تصمیم می گرفتمی‌گرفت چه داده‌هایی را نادیده بگیرد و خط میانگین رارا در کجا قرار دهد. امروزه داده‌های اندازهگیری شده در رایانه ذخیره می شوندمیشوند و با استفاده از روش‌های تجزیه و تحلیل سیگنال و آمار مورد تجزیه و تحلیل قرار می‌گیرند.<ref>Whitehouse, DJ. (1994). Handbook of Surface Metrology, Bristol: Institute of Physics Publishing. ISBN 0-7503-0039-6</ref><gallery>
پرونده:Surface finish form removal.svg|اثر تکنیک هایتکنیک‌های مختلف برداشت سطح در آنالیز پرداخت سطحی
پرونده:Surface finish waviness filter frequency.svg|نمودارها نشان می دهندمی‌دهند که فرکانس قطع فیلتر بر جدایی بین پوسیدگی و زبری چگونه اثر می‌گذارد
پرونده:Surface finish form waviness roughness.svg|تصویر نشان می‌دهد که چگونه یک پروفایل خام از یک اثر از سطح کاری به چهار صورت از یکدیگر مجزا می‌شوند. درون یک پروفایل اصلی ، شکل و موجی بودن و سختی.
پرونده:Surface finish waviness filter type.svg|تصویر نشان می دهدمیدهد که استفاده از فیلترهای مختلف برای جدا کردن ردیابی از پایان سطح به موج داری و زبری چگونه اثر می‌گذارد.
</gallery>
== <big>{{درشت|تجهیزات</big>'''}} ==
=== تماسی (اندازهگیری لمسی) ===
[[پرونده:Rugosimetro_portatile.jpg|بندانگشتی|دستگاه قابل حمل تست زبری]]
ابزارهای تماسی مبتنی بر قلم دارای مزایای زیر هستند:
* سیستم اندازهگیریاندازهگیری ناهمواریناهمواری، ، موجدارموجدار بودن یا فرم بسیار ساده و کافی است، بطوریکه فقط به پروفیل هایپروفیل‌های دوبعدی نیاز دارد (به عنوان مثال محاسبه مقدار Ra)
* سیستم هرگز توسط خصوصیات نوری یک نمونه به اشتباه نمی‌افتد (به عنوان مثال بازتابندگی زیاد، شفافیت، یا ریزساختار بودن نمونه)
* قلم در طول فرایند صنعتی خود، روغنی را که بسیاری از اجزای فلزی را پوشش می‌دهد، نادیده می‌گیرد.
'''<small>فناوری ها</small>'''
* [[پروفایلومتر|پروفیلومترهای]] تماسی - به طوربه‌طور سنتی از [[استایلوس|قلم]] الماس استفاده کرده و مانند یک [[گرامافون]] عمل می‌کند.
* [[میکروسکوپ نیروی اتمی|میکروسکوپ‌های نیروی اتمی]] نیز گاهی پروفیلرهای تماسی در مقیاس اتمی محسوب می‌شوند.
=== غیر تماسی (میکروسکوپ‌های نوری) ===
ابزارهای اندازهگیری نوری نسبت به ابزارهای لمسی دارای مزایایی به شرح زیر می‌باشد:
* با سطح هیچ تماسی ندارند، در نتیجه نمونه آسیب نمیبیندنمیبیند.
* سرعت اندازهگیری معمولاً بسیار بیشتر است (تا یک میلیون نقطه سه بعدی در یک ثانیه قابل اندازهگیری است)
* برخی از آنها به جای اندازهگیری تک به تک اثرات داده‌ها، برای توپوگرافی سه بعدی سطح ساخته شده‌اند.
* آنها می‌توانند سطوح را از طریق محیط شفاف مانند شیشه یا فیلم پلاستیکی اندازه گیریاندازهگیری کنند.
* اندازهگیری غیر تماسی ممکن است گاهی اوقات تنها راه‌حل برای اندازهگیری بسیار نرم (به عنوان مثال رسوب آلودگی) یا بسیار سخت (به عنوان مثال کاغذ ساینده) باشد.
'''<small>اسکن عمودی :</small>'''
* تداخل سنجی انسجام
* [[میکروسکوپ هم-کانونی|میکروسکوپ کانفوکال]]
* انحراف رنگی کانفوکال
'''<small>اسکن افقی :</small>'''
* میکروسکوپ لیزری روبشی
* اسکن نور ساختاری
=== انتخاب ابزار اندازهگیری مناسب ===
هر وسیله‌ایی دارای معایب و مزایا می‌باشد. اپراتوتر با توجه به کاربرد اندازهگیری، به انتخاب ابزار مناسب بپردازد. در ادامه برخی از مزایا و معایب فناوری‌های اصلی مترولوژی اشاره شده استشده‌است:
* '''تداخل سنجی:'''
بالاترین وضحوع عمودی میان بقیه تکنیک‌های نوری را دارد. همچنین وضوح جانبی آن، معادل اغلب تکنیک‌های نوری می‌باشد ( وضوح جانبی تکنیک کانونی بهتر از آن است.). این ابزار توانایی اندازهگیری سطوح بسیار صاف را با استفاده از تداخل سنجی تغییر فاز با تکرارپذیری عمودی بالا را داراست. همچنین دارای توانایی اندازهگیری قطعات بزرگ ( تا 300۳۰۰ میلی‌متر) با قطعات مبتنی بر میکروسکوپ می‌باشد. علاوه بر این موارد، می‌توان از تداخل سنجی انسجام با یک منبع نور سفید برای اندازهگیری سطوح شیب‌دار یا زبر از جمله فلز ماشینکاری شده، فوم، کاغذ و غیره استفاده کرد. همانند سایر تکنیک‌های نوری، فعل و انفعال نور با نمونه برای این ابزار کاملاً درک نشده استنشده‌است (ممکن است که خطاهای اندازهگیری،اندازهگیری، به خصوص برای اندازهگیریاندازهگیری زبری، رخ دهد.).<ref>Gao, F; Leach, R K; Petzing, J; Coupland, J M (2008). [https://repository.lboro.ac.uk/articles/journal_contribution/Surface_measurement_errors_using_commercial_scanning_white_light_interferometers/9564596 "Surface Measurement errors using commercial scanning white light interferometers"]. Measurement Science and Technology. 19 (1): 015303. [[بیبکد|Bibcode:]][https://ui.adsabs.harvard.edu/abs/2008MeScT..19a5303G 2008MeScT..19a5303G]. [[نشانگر دیجیتالی شیء|doi]]:[https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-0233/19/1/015303 10.1088/0957-0233/19/1/015303]</ref><ref>Rhee, H. G. ; Vorburger, T. V. ; Lee, J. W. ; Fu, J (2005). [https://zenodo.org/record/1235636 "Discrepancies between roughness measurements obtained with phase-shifting and white-light interferometry"]. Applied Optics. '''44''' (28): 5919–27. Bibcode:[[bibcode:2005ApOpt..44.5919R|2005ApOpt..44.5919R]]. doi:[https://www.osapublishing.org/ao/abstract.cfm?uri=ao-44-28-5919 10.1364/AO.44.005919. PMID 16231799].</ref>
* '''هولوگرافی دیجیتال:'''
در این روش می‌توان وضوح توپوگرافی سه بعدی مشابه با با تکنیک تداخل سنجی داست. به دلیل غیر اسکنی بودن این روش، برای اندازهگیری نمونه‌های در حال حرکت، سطوحی با شکل متغییر،متغیر، دینامیک، واکنش‌های شیمیایی، تاثیرتأثیر میدان الکتریکی یا مغناطیسی بر روی نمونه‌ها و همچنین اندازه گیریاندازهگیری وجود ارتعاشات، به صورت ویژه برای کنترل کیفیت ایدهآلایدهآل است.
* '''تغییر کانونی:'''
این روش اطلاعات را بصورت رنگی ارائه می‌دهد و امکان اندازهگیریاندازهگیری در کنارههایکنارههای شیب دار و سطوح بسیار ناهموار را داراست. نقطه ضعف این روش این است که نمی‌تواند روی سطوح با زبری پایین مانند ویفر سیلیکون عمل اندازهگیری را انجام دهد. کاربرد اصلی این روش نمونه‌های فلزی (قطعات و ابزارهای ماشینکاری شده)، پلاستیک یا کاغذ است.
* '''ریزبینی کانونی:'''
این روش به دلیل استفاده از سوراخ پین از مزیت وضوح جانبی بالا برخوردار است؛ اما این عیب را نیز دارد که نمی‌تواند در کنارههایکنارههای شیب دار اندازهگیریاندازهگیری شود. همچنین چون حساسیت عمودی به هدف استفاده میکروسکوپ بستگی دارد، هنگام مشاهده مناطق وسیع ،وسیع، به سرعت وضوح عمودی خود را از دست می‌دهد.
* '''انحراف رنگی کانونی:'''
این روش مزیت اندازهگیریاندازهگیری برخی از دامنه‌های ارتفاع بدون اسکن عمودی را داراست. همچنین می‌تواند سطوح بسیار ناهموار را با سهولت، و سطوح صاف را تا محدوده یک نانومتری اندازهگیری کند. این واقعیت که این سنسورها هیچ قسمت متحرکی ندارند سرعت اسکن بسیار بالایی را فراهم می‌کند و خصوصیت تکرارپذیری بالا را به آن میبخشدمیبخشد. قطعات با روزنه عددی (numerical aperture) بالا می‌توانند در پهلوهای نسبتاً تند اندازهگیریاندازهگیری شوند. چند حسگر، با دامنههایدامنههای اندازهگیریاندازهگیری یکسان یا متفاوت، می‌توانند به طوربه‌طور همزمان مورد استفاده قرار بگیرند، که امکان استفاده از روشهایروشهای اندازهگیری دیفرانسیل را فراهم کرده، یا موارد استفاده از سیستم را گسترش می‌دهد.
* '''پروفیلومتر تماسی''':
این روش، متداول‌ترین روش مترولوژی سطح است. مزایای این روش این است که از ابزار ارزان قیمت در آن استفاده شده، و از وضوح جانبی بالاتری نسبت به تکنیک‌های نوری، بسته به شعاع نوک قلم انتخاب شده، برخوردار است. سیستم‌های جدید می توانندمی‌توانند علاوه بر ردیابی‌های دو بعدی ،بعدی، اندازه‌گیری‌های سه بعدی را نیز انجام دهند؛ همچنین، توانایی اندازهگیریاندازهگیری فورم، ابعاد بحرانی(critical dimensions) و همچنین زبری را دارند. با این حال، از معایب این روش این است که نوک قلم باید در تماس فیزیکی با سطح باشد، که ممکن است باعث آلودگی یا آسیب دیدن سطح یا قلم یا هردو شود. علاوه بر آن، به دلیل فعل و انفعال مکانیکی، سرعت اسکن نسبت به روش‌های نوری به طوربه‌طور قابل توجهی کندتر است. همینطورهمین‌طور به دلیل زاویه قلم، پروفیلومترهای قلم نمی‌توانند تا لبه ساختار در حال افزایش را اندازه بگیرند، و باعث ایجاد یک "«سایه"» یا منطقه تعریف نشده، معمولاً بسیار بزرگتر از آنچه برای سیستم‌های نوری معمول است میشوندمیشوند.
=== وضوح ===
مقیاس اندازهگیریاندازهگیری مورد نظر، به انتخاب نوع میکروسکوپ کمک خواهد کرد.
برای اندازهگیریهایاندازهگیریهای سه بعدی ،بعدی، به پویشگر دستور داده می‌شود تا یک ناحیه دوبعدی روی سطح را اسکن کند. فاصله بین نقاط داده ممکن است در هر دو جهت یکسان نباشد.
در برخی موارد، فیزیک دستگاه اندازهگیریاندازهگیری ممکن است تأثیر زیادی بر روی دادههادادهها بگذارد. این امر به ویژه هنگام اندازه گیریاندازهگیری سطوح خیلی صاف بسیار محسوس است. برای اندازهگیری تماس، بارزترین مشکل این است که قلم ممکن است سطح اندازهگیری شده را بخراشد. مشکل دیگر این است که قلم ممکن است برای رسیدن به انتهای دره‌های عمیق بسیار صاف باشد و ممکن است نوک‌های قله‌های تیز را گرد کند. در این حالت پروب یک مانع فیزیکی است که دقت ابزار را محدود می‌کند.
== <big>{{درشت|پارامترهای زبری</big>'''}} ==
سطح واقعی دارای هندسه پیچیده‌ای می‌باشد به نحوی که نمی‌توان با تعداد محدودی از پارامترها، توضیح کاملی برای آن ارائه کرد و آن را به طوربه‌طور کامل توصیف نمود. اگر تعداد پارامترهای مورد استفاده افزایش یابد، می‌توان شرح دقیق‌تری را در مورد آن بدست آورد. یرای همین است که برای اندازهگیری سطحی، پارامترهای جدید تعریف می‌شود. معمولاً پارامترهای زبری سطح بر اساس کاربردهای آن در سه گروه دستهدسته‌بندی بندی می شوندمیشوند. این گروه‌ها به عنوان پارامترهای دامنه ،دامنه، پارامترهای فاصله و پارامترهای ترکیبی تعریف می شوندمیشوند.<ref>Gadelmawla E.S. ; Koura M.M. ; Maksoud T.M.A. ; Elewa I.M. ; Soliman H.H. (2002). "Roughness parameters". Journal of Materials Processing Technology. '''123''': 133–145. doi:[https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0924013602000602?via=ihub 10.1016/S0924-0136(02)00060-2].</ref>
=== پارامترهای زبری مشخصات ===
پارامترهایی که برای توصیف سطوح استفاده می‌شوند تا حد زیادی [[آمار|شاخص هایشاخص‌های آماری]] است که از بسیاری از نمونه هاینمونه‌های ارتفاع سطح بدست آمده استآمده‌است. برخی از نمونه هانمونه‌ها عبارتند از:
{| class="wikitable" style="text-align:center"
|+جدول معیارهای مفید سطح
! فرمول
|-
| R<sub>a</sub> ، R<sub>aa</sub> ، R<sub>yni</sub>
| [[متوسط|میانگین حسابی]] [[قدر مطلق (ریاضی)|مقادیر مطلق]]
| میانگین مقادیر مطلق ارتفاع پروفیل از یک میانگین خط نسبت به نیمرخ اندازهاندازه‌گیری گیری می شودمی‌شود
| دامنه
| <math>R_a = \frac{1}{n} \sum_{i=1}^{n} \left | y_i \right |</math>
|-
| R<sub>q</sub> ، R<sub>RMS</sub>
| [[مقدار مؤثر|میانگین ریشه در مربع]]
|
| R<sub>ku</sub>
| [[کشیدگی|کورتوز]]
| اندازه گیریاندازهگیری وضوح مشخصات سطح
| ترکیبی
| <math>R_{ku} = \frac{1}{n R_q^4} \sum_{i=1}^{n} y_i^4 </math>
| R<sub>S</sub> <sub>متر</sub>
| میانگین قله فاصله
| فاصله متوسط بین قله هاقله‌ها در خط میانگین
| فضایی
| <math>RS_{m} = \frac{1}{n} \sum_{i=1}^{n} S_i </math>
|}
این نمونه کوچکی از پارامترهای در دسترس می‌باشد که در استانداردهای ASME B46.1<ref>[https://www.asme.org/products/codes---standards/surface-texture-(surface-roughness--waviness--and- ASME B46.1]. Asme.org. Retrieved on 2016-03-26.</ref> و ISO 4287<ref>[https://www.iso.org/standard/10132.html ISO 4287] [https://web.archive.org/web/20040119202443/http://www.iso.org/iso/en/CatalogueDetailPage.CatalogueDetail?CSNUMBER=10132 Archived] January 19, 2004, at the [[وی‌بک ماشین|Wayback Machine]]</ref> در مورد آنها توضیح داده شده استشده‌است. بیشتر این پارامترها از توانایی‌های پروفایلومتر و سایر سیستم‌های مکانیکی موجود نشات می‌گیرد. علاوه بر آن، در روش جدید اندازهگیری ابعاد سطح با کمک ابزار پیشرفته که اندازهگیری با دقت بالا را ممکن می‌سازد را ممکن می‌سازد.
=== پارامترهای سطح منطقه ===
زبری سطح می‌تواند برای یک تمام یک محدوده تعریف شود. این مورد اطلاعات S<sub>a</sub> را به جای R<sub>a</sub> به ما می‌دهد.
در استاندارد [[:en:ISO_25178|ISO 25178]] در مورد تمام جزئیات زبری سطح صحبت شده استشده‌است. مزیت پارامتر هایپارامترهای پروفایلی این است که:
* دارای دقت بالاتری هستند.
* با کاربردهای واقعی ارتباط بیشتری دارند.
* ممکن کردن اندازهگیری با سرعت بالا در دستگاه‌های واقعی (در این روش سرعت اندازهگیری S<sub>a</sub> بیشار از R<sub>a</sub> می‌باشد.)
سطوح می‌توانند مقدار فراکتال هم داشته باشند. اندازه‌گیری‌های چند معیاره می‌تواند با آنالیزهای فراکتال معیار بزرگ یا اندازه سطح ساخته شوند.<ref>[http://labs.wpi.edu/surfmet/ Surface Metrology Laboratory – Washburn Shops 243 – Scale-sensitive Fractal Analysis]. Me.wpi.edu. Retrieved on 2016-03-26. </ref> ▼
برای بدست آوردن مشخصات سطح، تقریباً همه اندازهگیریها تحت فیلترینگ هستند. این یکی از مهمترین مباحث هنگام تعیین و کنترل ویژگی‌های سطح مانند زبری، موجدار بودن و خطای فورم است. مولفههای انحرافات سطح در اندازهگیری باید واضحاً قابل تفکیک باشند تا درک صحیحی بین تأمین کننده و گیرنده سطح از مشخصات مطلوب سطح مورد نظر حاصل شود. ▼
به طور معمول، از فیلترهای دیجیتال یا آنالوگ برای جداسازی خطای فورم، موجدار بودن و زبری حاصل از اندازهگیری استفاده می‌شود. روش‌های اصلی فیلتر در چند مقیاس(multi-scale) عبارتند از: فیلتر گاوسی، تبدیل موجک و تجزیه حالت گسسته. سه مشخصه از این فیلترها وجود دارد که باید برای درک مقادیر پارامتری که یک ابزار می‌تواند محاسبه کند، شناخته شوند: ▼
▲سطوح می‌توانند مقدار فراکتال هم داشته باشند. اندازه‌گیری‌های چند معیاره می‌تواند با آنالیزهای فراکتال معیار بزرگ یا اندازه سطح ساخته شوند.<ref>[http://labs.wpi.edu/surfmet/ Surface Metrology Laboratory – Washburn Shops 243 – Scale-sensitive Fractal Analysis]. Me.wpi.edu. Retrieved on 2016-03-26. </ref>
1. طول موج‌های فضایی که در آنها فیلتر زبری را از موجدار بودن، یا موجدار بودن را از خطای فرم جدا می‌کند. ▼
2. میزان وضوح تصاویر فیلتر، یا میزانی که فیتر دو جزء سطح را از هم جدا می‌کند. ▼▲برای بدست آوردن مشخصات سطح، تقریباً همه اندازهگیریهااندازهگیریها تحت فیلترینگ هستند. این یکی از مهمترین مباحث هنگام تعیین و کنترل ویژگی‌های سطح مانند زبری، موجدار بودن و خطای فورم است. مولفههایمولفههای انحرافات سطح در اندازهگیریاندازهگیری باید واضحاً قابل تفکیک باشند تا درک صحیحی بین تأمین کننده و گیرنده سطح از مشخصات مطلوب سطح مورد نظر حاصل شود.
▲به طوربه‌طور معمول، از فیلترهای دیجیتال یا آنالوگ برای جداسازی خطای فورم، موجدار بودن و زبری حاصل از اندازهگیریاندازهگیری استفاده می‌شود. روش‌های اصلی فیلتر در چند مقیاس(multi-scale) عبارتند از: فیلتر گاوسی، تبدیل موجک و تجزیه حالت گسسته. سه مشخصه از این فیلترها وجود دارد که باید برای درک مقادیر پارامتری که یک ابزار میتواندمیتواند محاسبه کند، شناخته شوند:
3. اعوجاج فیلتر، یا میزانی که فیلتر یک جزء طول موج فضایی را در فرایند جداسازی تغییر می‌دهد. ▼
▲1.# طول موج‌های فضایی که در آنها فیلتر زبری را از موجدار بودن، یا موجدار بودن را از خطای فرم جدا می‌کند.
▲2.# میزان وضوح تصاویر فیلتر، یا میزانی که فیتر دو جزء سطح را از هم جدا میکندمیکند.
▲3.# اعوجاج فیلتر، یا میزانی که فیلتر یک جزء طول موج فضایی را در فرایند جداسازی تغییر میدهدمیدهد.
== منابع ==
{{پانویس|۲}}
| 