طرحنگار الکترونی: تفاوت میان نسخهها
محتوای حذفشده محتوای افزودهشده
جز ربات ردهٔ همسنگ (۲۳) : + رده:چاپسنگی (ریزساخت) |
جزبدون خلاصۀ ویرایش |
||
خط ۱:
'''لیتوگرافی پرتو الکترونی'''
لیتوگرافی یا طرح نگاری الکترونی در اوایل دهه 1960 میلادی تقریبا هم همان زمان با طرح نگاری نوری ابداع شد. طرح نگار الکترونی از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) منشعب شده و بسیار شبیه آن است. این روش تنها با کشف پلیمر حساس به الکترون معروف به
بر خلاف طرح نگار نوری، در این روش از ماسک استفاده نمی شود به همین دلیل سرعت بسیار پایین تری نسبت به طرح نگار نوری دارد.
|